技术创新:臭氧处理与半导体设备** - **臭氧水分解设备**:荏原EBARA的空气层吹扫式臭氧水分解设备(EOWD系列)采用先进技术,能够高效处理臭氧水,广泛应用于工业废水处理领域。 - **半导体工艺设备**:荏原EBARA的臭氧浓度检测仪(PL613和PL603)在半导体深紫外EUV装置中发挥关键作用,确保生产过程中的精确控制。